®ü±aÄ_Âà¹B¡A¾Ö¦³¬ü°ê¡B¤é¥»¡B¿D¤j§Q¨È¡B^°ê¡B¼w°ê¡B¥[®³¤j¦Ü¤¤°êµ¥¦h±ø®ü²^Âà¹B½u¸ô¡A»´ÃP¸Ñ¨M®ü²^±Ú¦b®ü²^¹Lµ{¤¤¹B¿éÃøªº°ÝÃD¡A¯u¥¿°µ¨ì¨¬¤£¥X¤á§Y¥iÁʹM¥þ²y¡I
¤@Áä¬d¸ßª«¬y¸ê°T¡AÀH®ÉÀH¦a´x´¤¥]»q°ÊºA¡I
¤ä´©¦hºØ¤ä¥I¤è¦¡¡G¤ä¥IÄ_¤ä¥I¡B·L«H¤ä¥I¡B¾lÃB¤ä¥I¡A¤ä¥I§ó¥[ÀH¤ß©Ò±ý¡I
®ø®§·¥³t±À°e¡AÀH®É¤F¸Ñ©xºô--·s°ÊºA¡I
©w´ÁÀu´f¬¡°Ê¡AÅý±zÅw¼Ö¨É¤£°±¡I
¡i¬°¤°»ò¿ï¾Ü®ü±aÄ_¡j
¥þ±
Âà¹B½u¸ôÂл\¬ü°ê¡B¤é¥»¡B¿D¤j§Q¨È¡B^°ê¡B¼w°ê¡B¥[®³¤j¤»¤j®ü²^¼öÂI°ê®a¡A¾Ö¦³Ãöµ|¸É¶K´ë¹D¡B»´ä¦Û´£/¥N¦¬´ë¹D©MEMS´ë¹D¡Aº¡¨¬®ü²^±Ú̦h¤è±ªºÂà¹B»Ý¨D¡I
Ãöµ|¸É¶K
¾á¤ß°Ó«~³Qµ|¤£´±¤U³æ¡H¤£¥Î¾á¤ß¡I³æÓ¥]»q2000¤¸¥H¤º¨É¨ü¥þÃBÃöµ|¸É¶K¡I
±M·~
±M·~«ÈªA¹Î¶¤´£¨Ñ¥þµ{¸òÂܪA°È¡C¤@Áä©I¥s¡B400¹q¸Ü¡B·L«H«t¸ß©MAI¦b½u«ÈªA«t¸ß¡A¥þ¤è¦ì«t¸ßªA°ÈÅý§A¥Îªº¬Ù¤ß§ó©ñ¤ß¡I
¹ê´f
·s¤á±M¨É¡G·s¥Î¤áµù¥U®ü±aÄ_§Y°e100¤¸²{ª÷¨é¡C
°Ó«~¥N¶R¡G¤é¥»°Ó«~±M·~¥N¶R¡A»ù®æ¤ñ¤é¥»¹q°Óºô¯¸«K©y5%~12%¡C
§ó¦hÀu´f¬¡°Ê¡AÅý±z¯u¥¿¨É¨ü¨ì»ù®æ¹ê´f¥B°ª¼Ð·Çªº®ü²^Âà¹BªA°È¡C
§ó¦h
¾Þ§@²³æ¡AµL»Ý¹w³ø¡I
§K-¶OÃØ°e2000¤¸¥þµ{«O-ÀI¡AÅý±zÁʪ«ºZ§ÖµL¼~¡I
Äò«ºë½T¨ì100§J¡A¥BÅé¿n¶O¥þ§K¡I
®ü±aÄ_ 3.3.3 §ó·s¤º®e¡G
1.Àu¤Æ³¡¤À²Ó¸`
2.§ó·s³¡¤À½u¸ô®i¥Ü°ÝÃD